ESC컨트롤러

ESC Controller(SPR 2.5K)

ESC (Electro-Static Chuck) Controller는 High Voltage / Low Current의 DC Power Supply로 ESC Kit에 DC전원 인가 및 정전기를 유도하여 Wafer 및 Glass를 ESC에 부착시키는 장치입니다.




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