Sticky Chuck(黏着吸盘)

使用有黏着力的Material,使半导体晶圆或显示屏幕(LCD、OLED等)维持水平的装置,与E.S.C.(静电吸盘)比较时,拥有下列优点。

  • 不会因E.S.C.的电气特征令商品产生缺陷
  • 可制作希望的Size 及型态
  • 不受使用环境影响(无论大气&真空状态皆可使用)
  • 需要操作的装备少,可简短制程时间
  • 发生不良时仅需替换Module,节省经费

 

什么是E.S.C. (静电吸盘)?