Sticky Chuck(粘着チャック)

粘着チャックは、粘着力のあるMaterialを使用して、半導体ウェハーやディスプレイ(LCD、OLEDなど)、ガラス基板を水平に保持するために使われる装置で、特にE.S.C.(静電チャック)と比較して、以下のような利点があります。

  • E.S.C.の電気的特性に起因する不良の発生なし
  • 任意の大きさと形状で製作可能
  • 使用環境に影響を受けない(待機&真空状態のどちらでも使用可能)
  • 操作に必要な機器が少なく工程時間の短縮が可能
  • 不良発生時Moduleのみの交換が可能で、コスト削減を実現

 

E.S.C.(静電チャック)とは?