Sticky Chuck(점착척)

점착척은 점착력이 있는 Material을 사용하여 반도체  웨이퍼나 디스플레이(LCD, OLED 등) 유리기판을 수평하게 유지하는데 사용되는 장치이며, 특히 E.S.C.(정전척)과 비교하여 다음과 같은 장점이 있습니다.

  • E.S.C.의 전기적 특성으로 인한 불량 미 발생
  • 원하는 Size 및 형태로 제작 가능
  • 사용 환경에 영향받지 않음(대기 & 진공상태 어디서든 사용 가능)
  • 조작에 필요한 장비가 적고 공정시간 단축
  • 불량발생 시 Module만 교체 가능하여 비용 절감

 

E.S.C.(정전척)란?