Sticky Chuck

Sticky Module/ASM01

(部分吸着方式, ∅50~70mm)

Sticky Body/ASB01

(全面吸着方式, 50~300mm)

Specifications

  • Size
    • Sticky Module: ∅30~70mm
    • Sticky Body: 200 X 200mm
  • Flatness & Parallelism
    • Sticky Module: ±15µm
    • Sticky Body: ±25µm
  • Drive Unit
    • Air or N2 Blower Line
    • Desorption Module or Push Pin
  • Chucking Force: 4g/cm2

Features

  • 使用有黏着力的Material,维持基板吸着的装置
  • 作为消耗品使用一定时间后,能够简易交替的Type
  • 不受环境不同而有所影响(ex. 大气或真空状态)
  • 基盘脱着时使用Desorption Module (使用Air or N2 Blower)