Sticky Chuck

Sticky Module/ASM01

(部分吸着方式、∅50〜70mm)

Sticky Body/ASB01

(全面吸着方式、50〜300mm)

Specifications

  • Size
    • Sticky Module: ∅30~70mm
    • Sticky Body: 200 X 200mm
  • Flatness & Parallelism
    • Sticky Module: ±15µm
    • Sticky Body: ±25µm
  • Drive Unit
    • Air or N2 Blower Line
    • Desorption Module or Push Pin
  • Chucking Force: 4g/cm2

Features

  • 吸着力のある素材を使用し、基板を吸着・保持する装置
  • 消耗品であり、一定時間使用した後に簡単に交換できるタイプ
  • 使用環境による影響を受けない(ex.待機または真空状態)
  • 基板脱着時にDesorption Moduleを使用 (Air or N2 Blower)