Sticky Chuck

Sticky Module/ASM01

(부분흡착 방식, ∅50~70mm)

Sticky Body/ASB01

(전면흡착 방식, 50~300mm)

Specifications

  • Size
    • Sticky Module: ∅30~70mm
    • Sticky Body: 200 X 200mm
  • Flatness & Parallelism
    • Sticky Module: ±15µm
    • Sticky Body: ±25µm
  • Drive Unit
    • Air or N2 Blower Line
    • Desorption Module or Push Pin
  • Chucking Force: 4g/cm2

Features

  • 점착력이 있는 Material을 사용하여 기판을 흡착 유지하는 장치
  • 소모품으로 일정시간 사용 후 간단히 교체할 수 있는 Type
  • 사용 환경에 따라 영향받지 않음 (ex. 대기 또는 진공상태)
  • 기판 탈착 시 Desorption Module 사용 (Air or N2 Blower 사용)