Sticky Module/ASM01
(부분흡착 방식, ∅50~70mm)
Sticky Body/ASB01
(전면흡착 방식, 50~300mm)
Specifications
- Size
- Sticky Module: ∅30~70mm
- Sticky Body: 200 X 200mm
- Flatness & Parallelism
- Sticky Module: ±15µm
- Sticky Body: ±25µm
- Drive Unit
- Air or N2 Blower Line
- Desorption Module or Push Pin
- Chucking Force: 4g/cm2
Features
- 점착력이 있는 Material을 사용하여 기판을 흡착 유지하는 장치
- 소모품으로 일정시간 사용 후 간단히 교체할 수 있는 Type
- 사용 환경에 따라 영향받지 않음 (ex. 대기 또는 진공상태)
- 기판 탈착 시 Desorption Module 사용 (Air or N2 Blower 사용)