E.S.C.(静电吸盘)

所谓静电是在电气静止的状态下所产生的,在Plasma之类的导体中静电荷(+Charge)靠近时,便会拖曳导体中的阴电荷(-Charge),让导体表面产生电荷。

E.S.C与蓄电器的原理类似。蓄电器做为储存电荷的装置,在平行的两片金属板相对的状态下师与电压,接上+电极的电极板便会产生+电荷,接上-电极的电极板则会产生-电荷。此时带电的两片平行金属板之间便会因电荷产生力量,这种力量称为静电力(Electrostatic Force)。

E.S.C.扮演着在半导体及显示屏幕制作装备的真空室内基板上,使用静电的力量将基板固定于低电极的功能,不存在类似机械吸盘中可能成为污染因素的夹钳(Clamp)。E.S.C.是利用导入 +、- 电气,令对象物体带电有相反的电位,藉由带电的电位产生互相牵引力量的原理。

和Wafer接触表面上均匀分布的静电力的作用,使Wafer牢牢固定,保障Wafer表面的Flatness(扁率),Wafer紧密接触E.S.C. 整体表面可有效地将Wafer散热,容易调节温度。