E.S.C.(静電チャック)

静電気とは、電気が停止している状態のこと。プラズマをはじめとする導体に正電荷(+ Charge)を近づけると、導体の負電荷(-Charge)が引き寄せられ、導体の表面は電荷を帯びます。

E.S.C.はコンデンサと類似した原理を持ちます。コンデンサは、電荷を蓄積する装置で、二枚の金属板を平行に向かい合わせた状態でこれに電圧をかけると+電極がかかった板は+電荷を帯び、-電極がかかった板は-電荷を帯びます。このとき、帯電状態にある二枚の平行板間には、電荷による力が発生し、これを静電力(Electrostatic Force)と呼びます。

E.S.C.とは、半導体やディスプレイ製造装置の真空チャンバー内の基板が置かれる場所のことで、静電気の力を利用して基板を下部電極に固定する機能を果たし、機械チャックのように粒子汚染の原因となるクランプ(Clamp)が必要ありません。E.S.C.に対して+/-電気を印加すると、対象物には反対の電位が帯電し、それらの電位によって互いに引き寄せ合う力が発生する原理を利用します。

ウェハーと接触面全体に均等にかかった静電気の作用によりウェハーを固定するため、ウェハー表面のFlatness(平面度)が保証され、ウェハーがE.S.C.表面全体に密に接触し効果的にウェハーの熱を放出させるため、温度調節が容易です。