E.S.C.(정전척)

정전기란 전기가 정지하고 있는 상태를 나타내는 것으로 Plasma와 같은 도체 속에 정전 하(+Charge)를 가까이하게 되면 도체 속에 음전하(-Charge)를 끌어당기게 되어, 도체 표면은 전하를 띠게 됩니다.

E.S.C.는 콘덴서와 원리가 유사합니다. 콘덴서는 전하를 축적하는 장치로서 평행한 두 금속판을 마주보게 한 상태에서 전압을 가하게 되면 +전극이 걸린 전극 판은 +전하를 띠게 되고, -전극이 걸린 전극 판은 -전하를 띠게 됩니다. 이 때 대전된 두 평행판 사이에는 전하에 의한 힘이 발생하는데 이를 정전력(Electrostatic Force)이라 합니다.

E.S.C.는 반도체 및 디스플레이 제조장비의 진공챔버 내부에 기판이 놓이는 곳으로, 정전기의 힘을 사용하여 기판을 하부전극에 고정시켜주는 기능을 함으로써, 기계 척에서와 같이 입자오염의 원인이 될 수 있는 클랩프(Clamp)가 없습니다. E.S.C.에 +, - 전기를 인가시키면 대상물에는 반대의 전위가 대전되고, 대전된 전위에 의하여 서로 끌어당기는 힘이 발생하는 원리를 이용합니다.

Wafer와의 접촉면 전체에 걸친 고른 정전기 힘의 작용에 의해 Wafer를 고착시키므로, Wafer 표면의 Flatness(편평도)가 보장되며, Wafer가 E.S.C. 표면 전체에 긴밀하게 접촉하여 효과적으로 Wafer의 열을 방출시키기 때문에 온도 조절이 용이합니다.