Semiconductor Business

半導体の製造には、高度に精巧な技術と清浄な環境が求められます。その製造過程では、様々な原材料や特殊な装置および装備が必要となります。

(株)アポロテックは、半導体製造の過程で重要な素材として使用される高品質Si Top&Tail、Granular Polyなどの各種原材料、シリコンウェハー製品およびパーツを輸出入しており、厳格な品質検査を実施し、合理的な価格で提供します。また、半導体基板を正確に固定する消耗性装置であるE.S.C.(静電チャック:Electro Static Chuck)の多仕様カスタマイズ開発を行い、これを供給します。

また、製造過程において何らかの理由で廃棄されるシリコンウェハーを、リサイクル可能な状態に再生するReclaim Service(再生サービス)を提供し、半導体メーカーのコスト削減に貢献しています。

主な製品

静電チャック(E.S.C.)

Handler E.S.C.

シリコンウェハー(Silicon Wafer)

Test Monitor Wafer
Dummy Wafer
Oxide Wafer
Solar Wafer

シリコンパーツ(Silicon Parts)

Silicon Plate
Cathode
Other Over Size Ingot

原材料(Raw Material)

Si Top & Tail
Granular Poly
Pot Scrap
Poly Chunk
Broken Wafer

Reclaim Service

Reclaim Service(再生サービス)とは、製造工程の安定化のために使用されるTest Monitor Wafer、Dummy Waferなどをリサイクル可能な状態に加工することにより、コスト削減を可能にするサービスです。なかでも、特殊装置の利用により既存Waferに損傷や汚染をもたらすことなく膜層のみを取り除く(洗浄)過程に、核心的な技術が使用されています。