Semiconductor Business

반도체는 매우 정교한 제조기술과 청정한 제조환경이 요구되며, 제조 과정에서 다양한 원자재들과 특수 장치 및 장비들이 필수적으로 사용됩니다.

(주)아폴로테크는 반도체 제조과정에서 핵심 소재로 사용되는 고품질의 Si Top & Tail, Granular Poly 등 각종 원자재, 실리콘 웨이퍼 제품 및 파트를 수출입하고 있으며, 엄격한 품질검사 단계를 거쳐 합리적인 비용으로 공급하고 있습니다. 그리고 반도체 기판을 정밀하게 고정시켜주는 소모성 장치인 E.S.C.(정전척: Electro Static Chuck)을 다양한 사양으로 맞춤개발 및 공급하고 있습니다.

또한, 제조 과정에서 여러 가지 이유로 버려지는 실리콘 웨이퍼를 재활용 가능하도록 재생시키는 Reclaim Service(재생 서비스)를 제공함으로써 반도체 제조사의 원가 절감에 기여하고 있습니다.

주요 제품

정전척(E.S.C.)

Handler E.S.C.

실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer)

Test Monitor Wafer
Dummy Wafer
Oxide Wafer
Solar Wafer

실리콘 파트(Silicon Parts)

Silicon Plate
Cathode
Other Over Size Ingot

원자재(Raw Material)

Si Top & Tail
Granular Poly
Pot Scrap
Poly Chunk
Broken Wafer

Reclaim Service

Reclaim Service(재생 서비스)란 제조공정 안전화를 위해 사용되는 Test Monitor Wafer, Dummy Wafer 등을 재활용할 수 있도록 가공함으로써 원가 절감을 달성할 수 있는 서비스입니다. 특히 특수장비를 활용하여 기존 Wafer에 손상 및 오염을 유발하지 않고, 막층만 제거(세정)하는 것이 핵심 기술이라고 할 수 있습니다.