Display Business

LCD、OLEDなどの先端ディスプレイ部品の製造には、非常に複雑な工程が求められ、素材や部品の破損や異物の混入を防ぎ、その環境を維持する必要があります。材料や部品を固定させるための装置として特殊なChuckが必要であり、一般的には、静電気によるE.S.C.(静電チャック:Electro Static Chuck)や粘着力によるSticky Chuck(粘着チャック)が使用されています。

(株)アポロテックは、精度の高い製造用Chuck装置の継続的な研究開発を推進し、ディスプレイメーカーごとのカスタム仕様で、量産および供給を実施しています。また、E.S .C.(静電チャック)とSticky Chuck(粘着チャック)に関しては業界最高の技術力を保有しており、Flexible Displayなど最新のディスプレイにも完全に対応できる技術力を誇っています。

現在、より優れた性能を持つE.S.C.を合理的に供給するための努力を重ね、セラミックなどの新素材を活用する次世代製品の研究開発を行っています。

主な製品

LCD E.S.C.(LCD静電チャック)

4G LCD E.S.C.
5G LCD E.S.C.
6G LCD E.S.C.
7G LCD E.S.C.
8G LCD E.S.C.

OLED E.S.C.(OLED静電チャック)

1G OLED E.S.C.

Touch Panel E.S.C.(タッチパネル静電チャック)

Touch Panel E.S.C.

Handler E.S.C. for Package(パッケージ用ハンドラー静電チャック)

Chip Handler E.S.C.
Wafer Handler E.S.C.

Sticky Chuck(粘着チャック)

Sticky Module & Body
Desorption Module

Other E.S.C.(その他静電チャック)

Wafer Handler E.S.C.
Heater E.S.C.